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LMG2A
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    產品名稱:LMG2A

    產品介紹:

    產品特征:

    最大行程4m x 4m
    以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平臺良好接地設計防止雜訊干擾 Z向震動可達奈米等級以下最大速度可達5m/s 標準重現精度1um或以下位置回饋系統解析度最低可達50nm


    產品應用:

    半導體設備
    自動化搬送
    FPD設備
    太陽能制造設備
    PCB設備
    水刀設備
    鉆石切割設備
    AOI檢測設備
    工具機


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